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给出了一种硅微机械陀螺制造方法，该方法可适用于各种不同的微机电系统( MEMS)器件，包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利用该方法制备了硅微机械陀螺，并给出了该陀螺的性能测试结果。同时分...
《压电与声光》 2015年3期 关键词: "硅微陀螺仪","深刻蚀","键合","侧壁" 收藏
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