微机械陀螺
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搜索到与“ 微机械陀螺”相关的文献共 4条

石英微机械陀螺敏感器件减振设计
石英微机械陀螺敏感器件在多轴陀螺应用中，各敏感器件之间存在振动干扰，导致陀螺噪声过大，输出信号中存在低频信号，无法满足使用要求。应用减振技术设计了一款集成式的减振器，该减振器具有体积小、质量轻等特点。...

《压电与声光》 2014年4期关键词: "石英微机械","陀螺","减振器","有限元" 收藏
微机械陀螺仪的新进展及发展趋势
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统( MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同，微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺( Si- MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs...

《压电与声光》 2014年4期关键词: "硅基微机械陀螺","微机械压电振动陀螺","石英微机械陀螺" 收藏
石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进
石英微机械陀螺是振动惯性器件，而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响，因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯...

《压电与声光》 2015年4期关键词: "石英微机械","陀螺","随机振动","有限元" 收藏
一种硅微机械陀螺制造方法研究
给出了一种硅微机械陀螺制造方法，该方法可适用于各种不同的微机电系统( MEMS)器件，包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利用该方法制备了硅微机械陀螺，并给出了该陀螺的性能测试结果。同时分...

《压电与声光》 2015年3期关键词: "硅微陀螺仪","深刻蚀","键合","侧壁" 收藏