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王阳元,中国科学院院士,微电子学家,我国硅栅N沟道技术开拓者之一。在多晶硅薄膜物理和...由北京大学MEMS实验室主持开发的硅加速计、压力计、硅陀螺和射频开关等10多种器件已开始得到应用。创建世界水平集成电路芯片制造公司长期以来王阳元一直 ...
搜索到与“ MEMS陀螺”相关的文献共 2条
针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题，提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理，实现误差项系数的动态辨...
《压电与声光》 2014年6期 关键词: "微机电系统(","MEMS)陀螺仪","动态Allan方差","随机误差","信号处理","单纯形法" 收藏
针对微机电系统( MEMS)陀螺随机漂移较大及量测信息中野值对滤波的不利影响，提出了一种抗野值自适应滤波降噪方法。该方法采用Allan方差信息估计量测噪声方差参数，避免了Kalman滤波器与量测噪声估...
《压电与声光》 2015年4期 关键词: "自适应滤波","微机电系统(","MEMS)陀螺","时间序列分析","Allan方差","野值" 收藏
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