微机电系统(MEMS)

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丁衡高,中国工程院院士,惯性技术和精密机械专家。我国惯性技术的主要创业者之一。...丁衡高不仅大力倡导微米/纳米技术的研究,而且还身体力行地参与其中,近几年来就微机电系统(MEMS)、微型惯性测量组合、微小型卫星、微型仪器、我国微机电系统 ...

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