微机电系统
更新时间:-- | 阅读量: 29

是指以微光机电系统加工技术和材料为基础制造出微电子器件、微型光学器件和微机械器件并

搜索到与“ 微机电系统”相关的文献共 3条

基于碳-微电子机械系统的超级电容器的研究进展
<p>结合国内外研究现状，综述了基于C-MEMS（碳-微电子机械系统）超级电容器的研究进展。</p>

《科技创新与应用》 2015年11期关键词: "","碳材料","超级电容器","双电层","微机电系统" 收藏
基于微机电系统运动传感器在人体运动测量中的应用
摘要:人机工程学理论发展起来后,在工程设计中对人的测量也越发的全面。工业生产的过程中,人作业的过程是随着人体运动而持续的,这些运动信息不但能够将人体的自身运动规律反馈,而且能够使用在人体与工作环...

《科技资讯》 2015年8期关键词: "关键词","微机电系统","运动传感器","运动测量" 收藏
微机电系统的发展与应用
文章主要介绍并分析了微机电系统在国内外发展的现状，重点对微机电系统的发展与运用进行了研究，突出围绕在军事领域的侦察、打击行动中的应用，在救援与医疗领域的探查和诊断、手术中的应用，以及在航空航天领域的微...

《科技创新与应用》 2015年19期关键词: "微机电系统","发展现状","应用展望" 收藏