THz探测
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基于65 nm标准CMOS工艺的3.0 THz探测器
基于Dyakonov和Shur等离子体波振荡原理设计并流片制备了一种采用65 nm标准CMOS工艺的3. 0 THz探测器,探测器包括贴片天线、NMOS场效应晶体管、匹配网络及陷波滤波器。探测器在室温...

《红外与毫米波学报》 2020年01期关键词: "CMOS"," 太赫兹"," 太赫兹成像"," 太赫兹探测器" 收藏