悬臂式

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    《石油商技》 1999年05期 关键词: 收藏

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    《压电与声光》 2014年5期 关键词: "蝴蝶式结构","压电悬臂梁","发电电压","输出功率","实验测试" 收藏

  • 压电振动能量收集器的疲劳分析

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    《压电与声光》 2014年5期 关键词: "压电悬臂梁","有限元","模态分析","疲劳分析","疲劳寿命" 收藏

  • 压电层厚度对(115模PZT-51梁俘能特性影响

    设计并制作了压电层厚度分别为0.6 mm、0.7 mm、0.8 mm、0.9 mm的dis模式层合串联结构PZT-51压电悬臂梁俘能器。测量了开路和1.OMQ负载下,俘能器的振动频率与输出电压和输出功...

    《压电与声光》 2015年3期 关键词: "dis模式","PZT-51","压电俘能器","层合结构","悬臂梁" 收藏

  • 自 带 均 热 板 的 微 弹 簧 梁 微 加 热 器 的 研 究

    摘 要: 利用硅基MEMS工艺,通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀晶向硅片, 结合SiO 2 薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、 光刻工 艺、 lift-off工艺, 制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂...

    《科技创新导报》 2015年1期 关键词: "MEMS","均热板","悬臂梁","微弹簧","微加热器" 收藏

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    《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2015年1期 关键词: "MEMS","微加速度计","微悬臂梁","振动特性","气动性能" 收藏

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