气相沉积

更新时间:-- | 阅读量: 22

气态物质沉积到固体表面的过程。包括化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)两种。......,使之变成蒸气,然后在低温区使之冷凝而沉积在固体(基体)表面。CVD则是通过原料在高温下发生化学反应生成的产物沉积在基体表面。

搜索到与“ 气相沉积”相关的文献共 8

查看更多

气相沉积相似词

气相沉积相关词

气相沉积相关期刊

Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved

京ICP备2021022288号-1

京公网安备 11011102000866号