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离子束加工的原理与电子束相似,也是在真空条件下,把氩 (Ar)、氪(Ke)、氙(Xe) 等惰性气...离子镀时工件不仅接受靶材溅射来的原子，同时受到离子的轰击，故有许多独特的优点离子镀用能量0.5～5keV的氩离子，在镀膜前或镀膜时，轰击 ...
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