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超精密切削是指用金刚石单刃刀具对工件进行车削、铣削或镗削。表13-73所示为超精密车...工件夹持技术；机床误差及加工过程误差的补偿（包括软件）φ800mm的非球面光学元件；δ形、尺＝0.1μm;φ150mm的部件；δ形、尺＝0.07μm ...
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