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国家重点实验室。设在双流县350信箱中国科学院光电技术研究所。...有主要仪器设备110台（套），其中具有90年代世界先进水平的设备和仪器有准分子激光器、Hp5528A激光测量系统、纳米级线宽测量仪和台阶测量仪、自动显影机、自动匀胶机、等 ...
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