ITO

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  • ITO厚度对AlGaInP发光二极管特性的研究

    采用金属有机物化学气相沉积技术在GaAs衬底上生长AlGaInP红光发光二极管器件,在表层GaP上沉积氧化铟锡透明导电层,使用扫描电镜分析器件外观、透射电镜观察器件各层结构、半导体测试机测试其光电参数...

    《真空科学与技术学报》 2020年01期 关键词: "氧化铟锡"," AlGaInP二极管"," 热稳定性"," 发光角度" 收藏

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