微加热器
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(1) SN10-10少油断路器的检修周期和项目见表20-2。表20-2 SN10-10少油断路器的检修周...并联电容器检查7）本体清扫、除锈刷漆（2）液压机构：1）分合闸电磁铁分解检修2）分闸阀分解检修3）合闸阀分解检修4）高压放油阀 ...

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自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器的研究
摘要：利用硅基MEMS工艺，通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀晶向硅片，结合SiO 2 薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、 lift-off工艺，制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂...

《科技创新导报》 2015年1期关键词: "MEMS","均热板","悬臂梁","微弹簧","微加热器" 收藏