篮宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究赵湘楠，韩彦军，孙长往，罗毅

研究了蓝宝石上非掺杂GaN，p型GaN和p-GaN／n-GaN 3种薄膜材料的声表面波特性。在p型GaN薄膜中观测到中心频率分别为255 MHz和460 MHz的Rayleigh模和Sezawa模，插入损耗为-42 dB。研究了退火工艺的影...

《压电与声光》 2014年第3期 收藏

篮宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究 赵湘楠，韩彦军，孙长往，罗 毅