MEMS微结构静态测试技术的发展及应用张立平，卢清华

对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得m非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发展方向。

《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》 2015年第3期 收藏

MEMS微结构静态测试技术的发展及应用 张立平，卢清华