电弧离子镀TiN 和TiAlN 薄膜的机械性能研究谢婷婷，肖若领，徐焱良，康剑莉

采用电弧离子镀在高速钢表面沉积TiN和TiAlN薄膜，并比较两种薄膜的机械性能。为模拟实际生产情况，利用对外开展技术服务的机会，沉积薄膜同时在真空腔室内放置近1 000 支冲棒。

《温州职业技术学院学报》 2015年第1期 收藏

电弧离子镀TiN 和TiAlN 薄膜的机械性能研究 谢婷婷，肖若领，徐焱良，康剑莉