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芯片倒装封装中焊球及对高速差分信号传输特性影响的仿真研究 孟 真,张兴成,刘 谋,唐 璇,阎跃鹏

焊球与铜互连是芯片倒装封装中两种主要的互连结构,而随着数字电路时钟频率的不断提升,差分信号已成为高速数字电路中最常用的信号形式。采用HFSS 全波仿真方法对芯片倒装封装中高速差分信号在差分对焊球和铜互连结构中的传输特性进行了研究。

《电子与封装》 2015年第9期 收藏

3479 11 1

集成电路钌阻挡层异质材料去除选择性的研究 王子艳1,2 周建伟1,2 王辰伟1,2 张佳洁1,2 张雪1,2 王超1,2

针对集成电路铜互连钌阻挡层异质材料(包括Cu、Ru、TEOS)在化学机械抛光(CMP)中选择性差的问题,在SiO2–H2O2体系抛光液中研究了(NH4)2SO4和2,2′-{[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]亚氨基}双乙醇(TT)对C...

《电镀与涂饰》 2020年第01期 收藏

3682 146 2

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