溶胶一凝胶法制备钡钕钛薄膜及其介电性能研究朱伟欣1，许俊绍2，张瑶1，杨成韬1，杨翼唏1，周冬1

采用溶胶一凝胶法在Si(lll)和PtlTi／Si02lSi衬底上制备Ba4 Nd9.33 Th8 054( BNT)介质薄膜，采用X线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同退火温度对薄膜结构和表面形貌的影响。结果表明当薄膜在...

《压电与声光》 2015年第3期 收藏

溶胶一凝胶法制备钡钕钛薄膜及其介电性能研究 朱伟欣1，许俊绍2，张 瑶1，杨成韬1，杨翼唏1，周 冬1