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    聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响 章安良1，张小权1，胡文艳1，付相庭2，查 燕2

    研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器(IDT)，其声传播路径上涂覆PDMS薄膜，IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体，并测量不同...

    《压电与声光》 2015年第5期 收藏

    1598 11 1

    基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究 章安良1，付相庭2，查 燕2

    提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器，其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体，使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微流体为实验对...

    《压电与声光》 2015年第1期 收藏

    1813 11 1

    010-56259535

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