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摘 要： 利用硅基MEMS工艺，通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀晶向硅片， 结合SiO 2 薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、 光刻工 艺、 lift-off工艺， 制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应...
结合辽宁二道沟水库大坝悬臂挂架模板施工实例,通过对其施工方案及施工过程进行研究,从施工工艺的模板、预埋件、悬臂挂架、施工平台、挂架模板五个方面开展设计分析,最后提出了相应的施工质量保证措施。实践表明:通过悬臂挂架模板施工技术,二道沟水库大坝...
针对复合材料层合悬臂板,在其上表面铺设压电纤维复合材料MFC作为作动器,同时在下表面对称铺设压电薄膜(PVDF)作为传感器,应用速度反馈控制方法研究其主动振动控制.运用Hamilton原理和假设模态法推导含多个MFC作动器的复合材料层合板的...
本文采用双向流固耦合研究一端固定的二维平板(展向无限长)涡激振动特性,通过流场和结构之间力和位移的相互传递来实现双向耦合。同时,对不同雷诺数下的平板绕流涡激振动进行了计算,并与单向求解算法进行了对比。计算结果表明,当涡脱落频率接近结构固有频...
010-56259535
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