基于声表面波热膨胀微阀研究章安良1，王新彪2，付相庭2，查燕2

研制了一种新的声表面波控制开关的微阀。在128。YX -LiNb03基片上光刻叉指换能器，其激发的声表面波加热微槽内石蜡油，熔融其上方微腔内固体石蜡，石蜡由于相变化而体积膨胀，使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜发生形变，微阀由开...

《压电与声光》 2014年第6期 收藏

基于声表面波热膨胀微阀研究 章安良1，王新彪2，付相庭2，查 燕2