石英微机械陀螺敏感器件减振设计满欣，谢佳维，李文蕴

石英微机械陀螺敏感器件在多轴陀螺应用中，各敏感器件之间存在振动干扰，导致陀螺噪声过大，输出信号中存在低频信号，无法满足使用要求。应用减振技术设计了一款集成式的减振器，该减振器具有体积小、质量轻等特点。利用有限元法模拟计算减振器减振效率及固有...

《压电与声光》 2014年第4期 收藏

石英微机械陀螺敏感器件减振设计 满 欣，谢佳维，李文蕴