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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...虽然目前用此法沉积的金刚石薄膜只有几个平方毫米大小，但从金刚石喷射法的原理可知，要用它获得大面积金刚石薄膜是比较容易的。射频等离子体化学气相沉积法（ ...
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