注入工艺
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13.5.1 概述胶粘剂在机械工业中已广泛应用,其应用技术迅速发展,主要应用于机床、模具...④将调好的减摩修补剂装入注胶枪，注入工艺轴与孔间隙处，注满为止；⑤固化8～12h（25℃时），用压机平稳地把工艺轴从孔中压出，再稍加修整即可。 ...

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离子注入工艺中等离子喷淋技术
<p>阐述等离子喷淋技术的工作原理，在离子注入工艺上的应用；分析等离子喷淋器对注入工艺中的电荷累积以及注入均匀性改善。并提出在先进制程下对等离子喷淋技术的要求。</p>

《科技创新与应用》 2015年21期关键词: "离子注入","等离子喷淋","电荷累积","注入均匀性" 收藏